硅芯片凈化無塵室的維護應該如何維護
凈化室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。翔泰認為凈化室的維護主要應該注意以下三點：
1. 建立凈化室安全措施綜合系統，設置火災報警、排煙、消防、事故照明等設施，對制劑中使用化學藥品、氣體的凈化室，還應根據腐蝕、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性質采取相應的安全措施。
2. 凈化室的維護管理應包括對凈化室的空氣凈化設備、配制制劑中使用的物料、設備和凈化室的操作人員等管理。應建立相應的管理制度，明確管理內容方法和責任，執行應有記錄。
3.除了依靠使用人員日常管理外，應建立凈化室計劃檢修制度，對凈化室空調系統和空氣凈化設備實行定期檢修、保養。
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